歐姆龍新品發布溫控器E5□D-H:精準控溫助力半導體高效生產
2025年6月,歐姆龍自動化(中國)有限公司發布新品【溫控器E5□D-H】。作為E5□N-H的迭代機型,E5□D-H在保持操作便捷、成本優勢的基礎上,針對半導體精密加工需求,全面提升溫度控制性能與設備開發效率,為行業客戶提供高性價比解決方案。
半導體微型化與疊層化工藝要求溫控精度提升。復雜工況下的外部干擾易引發溫度波動,影響設備穩定性,抗干擾能力需增強。多樣化產品需求要求設備快速改造與組裝。E5□D-H通過核心技術升級,切實解決上述難題。
產品核心優勢
① 提升溫控性能,溫度分辨率可達0.01℃
E5□D-H搭載0.01℃的高分辨率,有助于在高溫條件下實現高精度溫控,提升產品良率。
②外部干擾抑制功能,將溫度變化控制在最低限度
外部干擾抑制功能是一項控制功能,能夠針對可預測的外部干擾預先抑制溫度變化。通過外部干擾自動調諧功能,自動調整FF(前饋)操作量、FF動作時間和FF等待時間。
③ 易操作的設計,簡化安裝與維護
使用Push-In端子臺輕松接線,無需工具,插入即可,不易脫落。
Push-In Plus端子臺可大幅削減配線工時,有效減少配線作業的負擔。
④ 減少通信設置工時和通信時間
E5□D-H利用設備預置的通信協議庫,無需PLC通訊程序開發,實現“零編程”通信集成,減少通訊設定工時。通過集中管理,實現多臺溫控設備的批量配置,減少通信時間。
歐姆龍溫控器E5□D-H,以技術創新與用戶需求為導向,重新定義高精度溫控標準。通過高分辨率控制、干擾抑制功能、省人化設計,助力半導體企業實現高效生產與可持續發展,開啟精準溫控新時代!
(資料來源:歐姆龍官網)
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